以NMOS举例，只用万用表二极管档测量MOS管的好坏。
NMOS的D极和S极之间有一个寄生二极管，方向为S到D，利用二极管单向导电性以及MOS管导通时寄生二极管截止的特性，可以快速测量MOS好坏。
1、测量之前将MOS的3个极短接，可以用一根铁丝，泄放MOS管内部电荷，确认MOS管是关闭状态。
短接释放电荷确保MOS截止
2、将万用表调至二极管档，将红表笔接在MOS的S极，黑表笔接在D极，这时寄生二极管是导通状态，万用表会显示电压值，一般是0.4V~0.9V之间（不同的MOS会有所差异）。
3、将黑表笔接在S极，红表笔接在D极，寄生二极管是截止状态，万用表会显示1，相当于开路。
第2步和第3步万用表都显示一定的电压值，代表MOS管D和S已经击穿损坏。
第2和第3步万用表都显示1，代表MOS管寄生二极管开路损坏。
4、万用表红表笔和黑表笔之间有一定的电压，可以将红表笔接在MOS管的G极，黑表笔接在S极，并维持一段时间（给Cgs电容充电，确保MOS有一定的导通），然后再重复第3步，这时万用表也会显示电压值，但接近于0，因为此时DS导通寄生二极管截止。
5、重复第1步，释放电荷，让NMOS处于截止状态，再重复第3步，万用表再次显示1，代表寄生二极管截止。
6、将万用表调至蜂鸣器档或者电阻档，将红表笔接在MOS的G极，黑表笔接在S极，蜂鸣器不会响，GS阻抗比较大，代表GS没有击穿损坏。
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